MOCVD設(shè)備氣體輸運(yùn)與加熱控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)

本論文在充分了解和研究了國內(nèi)外主流的幾款MOCVD 系統(tǒng)的前提下，總結(jié)出MOCVD 系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和運(yùn)行過程，提出了對MOCVD 氣路系統(tǒng)和加熱系統(tǒng)進(jìn)行控制的方法，全文主要從三個方面對MOCVD 系統(tǒng)進(jìn)行了研究：首先，對MOCVD 的原理、MOCVD 系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及MOCVD 系統(tǒng)的運(yùn)行過程進(jìn)行了詳細(xì)的研究，給出了本項(xiàng)目組設(shè)計(jì)的MOCVD 系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu)，對系統(tǒng)的各組成部分和系統(tǒng)的運(yùn)行過程進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。其次，針對MOCVD ..